Standard

THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING. / Богословцева, Алена Леонидовна; Капишников, Александр Владимирович; Шаяпов, Владимир Равильевич et al.

2024.

Research output: Contribution to conference › Abstract

Harvard

Богословцева, АЛ, Капишников, АВ, Шаяпов, ВР, Чепкасов, СЮ & Гейдт, ПВ 2024, 'THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING'.

APA

Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю., & Гейдт, П. В. (2024). THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING.

Vancouver

Богословцева АЛ, Капишников АВ, Шаяпов ВР, Чепкасов СЮ, Гейдт ПВ. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING. 2024.

Author

Богословцева, Алена Леонидовна ; Капишников, Александр Владимирович ; Шаяпов, Владимир Равильевич et al. / THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING.

BibTeX

@conference{9c80c7c21e2e4e8bbed7ee2f5f1bc129,
title = "THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна} and Капишников, {Александр Владимирович} and Шаяпов, {Владимир Равильевич} and Чепкасов, {Сергей Юрьевич} and Гейдт, {Павел Викторович}",
year = "2024",
language = "English",

}

RIS

TY - CONF

T1 - THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

AU - Капишников, Александр Владимирович

AU - Шаяпов, Владимир Равильевич

AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич

AU - Гейдт, Павел Викторович

PY - 2024

Y1 - 2024

M3 - Abstract

ER -

ID: 61324539