Standard

The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering. / Богословцева, Алена Леонидовна; Капишников, Александр Владимирович; Шаяпов, Владимир Равильевич и др.

PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS . 2024.

Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

Harvard

Богословцева, АЛ, Капишников, АВ, Шаяпов, ВР, Чепкасов, СЮ & Гейдт, ПВ 2024, The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering. в PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS . https://doi.org/10.56761/EFRE2024.C4-P-011902

APA

Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю., & Гейдт, П. В. (2024). The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering. в PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS https://doi.org/10.56761/EFRE2024.C4-P-011902

Vancouver

Богословцева АЛ, Капишников АВ, Шаяпов ВР, Чепкасов СЮ, Гейдт ПВ. The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering. в PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS . 2024 doi: 10.56761/EFRE2024.C4-P-011902

Author

Богословцева, Алена Леонидовна ; Капишников, Александр Владимирович ; Шаяпов, Владимир Равильевич и др. / The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering. PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS . 2024.

BibTeX

@inproceedings{5a7c293ea2244aba81abfda6b58c4a35,
title = "The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна} and Капишников, {Александр Владимирович} and Шаяпов, {Владимир Равильевич} and Чепкасов, {Сергей Юрьевич} and Гейдт, {Павел Викторович}",
year = "2024",
doi = "10.56761/EFRE2024.C4-P-011902",
language = "English",
booktitle = "PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS",

}

RIS

TY - GEN

T1 - The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

AU - Капишников, Александр Владимирович

AU - Шаяпов, Владимир Равильевич

AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич

AU - Гейдт, Павел Викторович

PY - 2024

Y1 - 2024

U2 - 10.56761/EFRE2024.C4-P-011902

DO - 10.56761/EFRE2024.C4-P-011902

M3 - Conference contribution

BT - PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS

ER -

ID: 61324311