11 - 12 из 12Размер страницы: 10
Сортировать по:: Заголовок

  1. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 58-60. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  2. Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

    Гейдт, П. В. & Чепкасов, С. Ю., 29 дек. 2021, Редакционно-издательский центр НГУ, Патент/Св-во № 52, Дата приоритета 28 дек. 2021

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

Назад 1 2 Далее

ID: 12586369