1 - 2 out of 2Page size: 10
  1. 2025

  2. Comparative nanopatterning of single-component semiconductors using oblique argon cluster ion bombardment

    Коробейщиков, Н. Г., Николаев, И. В., Стишенко, П. В. & Яковлева, М. В., Dec 2025, In: Materials Science in Semiconductor Processing. 200, 11 p., 110016.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  3. Наноструктурирование поверхности полупроводников ионно-кластерным пучком аргона

    Коробейщиков, Н. Г., Николаев, И. В., Яковлева, М. В. & Лапега, А. В., 10 Mar 2025, Нанофизика и наноэлектроника: XXIX симпозиум. Тезисы докладов. Нижний Новгород, p. 317 1 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

ID: 60313159