Ultrafast Infrared Laser Crystallization of Amorphous Ge Films on Glass Substrates › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.3390/mi14112048
Конечная издательская версия

Yuzhu Cheng
Alexander V Bulgakov
Nadezhda M Bulgakova
Jiří Beránek
Martin Zukerstein
Ilya A Milekhin
Alexander A Popov
Vladimir A Volodin

Язык оригинала	английский
Номер статьи	2048
Журнал	Micromachines
Том	14
Номер выпуска	11
DOI	https://doi.org/10.3390/mi14112048
Состояние	Опубликовано - 31 окт. 2023

Предметные области OECD FOS+WOS

2.02 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА, ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА, ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
2.11 ПРОЧИЕ ТЕХНОЛОГИИ

ID: 59224286