Standard

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК AlN/AL НА Si МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ АКТИВНОГО СЛОЯ ОАВ-РЕЗОНАТОРОВ. / Богословцева, Алена Леонидовна; Капишников, Александр Владимирович; Гейдт, Павел Викторович.

в: Техника радиосвязи, Том 1, № 60, 2024.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › Рецензирование

Harvard

Богословцева, АЛ, Капишников, АВ & Гейдт, ПВ 2024, 'ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК AlN/AL НА Si МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ АКТИВНОГО СЛОЯ ОАВ-РЕЗОНАТОРОВ', Техника радиосвязи, Том. 1, № 60.

APA

Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., & Гейдт, П. В. (2024). ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК AlN/AL НА Si МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ АКТИВНОГО СЛОЯ ОАВ-РЕЗОНАТОРОВ. Техника радиосвязи, 1(60).

Vancouver

Богословцева АЛ, Капишников АВ, Гейдт ПВ. ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК AlN/AL НА Si МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ АКТИВНОГО СЛОЯ ОАВ-РЕЗОНАТОРОВ. Техника радиосвязи. 2024;1(60).

Author

Богословцева, Алена Леонидовна ; Капишников, Александр Владимирович ; Гейдт, Павел Викторович. / ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК AlN/AL НА Si МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ АКТИВНОГО СЛОЯ ОАВ-РЕЗОНАТОРОВ. в: Техника радиосвязи. 2024 ; Том 1, № 60.

BibTeX

@article{5e02dc15d55e4df2966b9e2e8a96fcbf,
title = "ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК AlN/AL НА Si МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ АКТИВНОГО СЛОЯ ОАВ-РЕЗОНАТОРОВ",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна} and Капишников, {Александр Владимирович} and Гейдт, {Павел Викторович}",
year = "2024",
language = "русский",
volume = "1",
journal = "Техника радиосвязи",
number = "60",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК AlN/AL НА Si МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ АКТИВНОГО СЛОЯ ОАВ-РЕЗОНАТОРОВ

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

AU - Капишников, Александр Владимирович

AU - Гейдт, Павел Викторович

PY - 2024

Y1 - 2024

M3 - статья по материалам конференции

VL - 1

JO - Техника радиосвязи

JF - Техника радиосвязи

IS - 60

ER -

ID: 61325130