DOI

Переведенное названиеEffect of Cluster Ion Bombardment on the Roughly Polished Surface of Single-Crystal Germanium Wafers
Язык оригиналарусский
Номер статьи2430301
Число страниц5
ЖурналВестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия
Том79
Номер выпуска3
DOI
СостояниеОпубликовано - апр. 2024

    Области исследований

  • ИОННО-КЛАСТЕРНЫЙ ПУЧОК, ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ, СГЛАЖИВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ, МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ ГЕРМАНИЙ, ФУНКЦИЯ СПЕКТРАЛЬНОЙ ПЛОТНОСТИ МОЩНОСТИ ШЕРОХОВАТОСТИ

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 60095545