Влияние ионно-кластерной бомбардировки на грубо полированную поверхность пластин монокристаллического германия

Standard

Влияние ионно-кластерной бомбардировки на грубо полированную поверхность пластин монокристаллического германия. / Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Лапега, Алина Витальевна.

в: Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия, Том 79, № 3, 2430301, 04.2024.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

BibTeX

@article{ebbcb990a520445e81b90084a2d1b56e,

title = "Влияние ионно-кластерной бомбардировки на грубо полированную поверхность пластин монокристаллического германия",

abstract = "Исследована обработка поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона. Исходная поверхность пластин германия бомбардировалась кластерными ионами аргона с высокой (105 эВ/атом) и низкой (10 эВ/атом) удельной энергией. Используя атомно-силовой микроскоп, получены изображения и проведено сравнение топографии поверхности до и после ионно-кластерной бомбардировки. С помощью функции спектральной плотности мощности шероховатости продемонстрировано сглаживание поверхности в диапазоне пространственных частот: 1) ν = 1 - 8 мкм-1 - для высокоэнергетического режима, 2) ν = 0.7 - 2.5 мкм-1 - для низкоэнергетического режима.",

keywords = "ИОННО-КЛАСТЕРНЫЙ ПУЧОК, ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ, СГЛАЖИВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ, МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ ГЕРМАНИЙ, ФУНКЦИЯ СПЕКТРАЛЬНОЙ ПЛОТНОСТИ МОЩНОСТИ ШЕРОХОВАТОСТИ",

author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Лапега, {Алина Витальевна}",

note = "Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Лапега А.В. Влияние ионно-кластерной бомбардировки на грубо полированную поверхность пластин монокристаллического германия // Вестник Московского университета. Серия 3: Физика. Астрономия. – 2024. – № 3. – С. 2430301. Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 23-79-10061 (https://rscf.ru/project/23-79-10061/) с использованием оборудования ЦКП < Прикладная физика> НГУ.",

year = "2024",

month = apr,

doi = "10.55959/MSU0579-9392.79.2430301",

language = "русский",

volume = "79",

journal = "Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия",

issn = "0579-9392",

publisher = "Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова",

number = "3",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Влияние ионно-кластерной бомбардировки на грубо полированную поверхность пластин монокристаллического германия

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Лапега, Алина Витальевна

N1 - Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Лапега А.В. Влияние ионно-кластерной бомбардировки на грубо полированную поверхность пластин монокристаллического германия // Вестник Московского университета. Серия 3: Физика. Астрономия. – 2024. – № 3. – С. 2430301. Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 23-79-10061 (https://rscf.ru/project/23-79-10061/) с использованием оборудования ЦКП < Прикладная физика> НГУ.

PY - 2024/4

Y1 - 2024/4

N2 - Исследована обработка поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона. Исходная поверхность пластин германия бомбардировалась кластерными ионами аргона с высокой (105 эВ/атом) и низкой (10 эВ/атом) удельной энергией. Используя атомно-силовой микроскоп, получены изображения и проведено сравнение топографии поверхности до и после ионно-кластерной бомбардировки. С помощью функции спектральной плотности мощности шероховатости продемонстрировано сглаживание поверхности в диапазоне пространственных частот: 1) ν = 1 - 8 мкм-1 - для высокоэнергетического режима, 2) ν = 0.7 - 2.5 мкм-1 - для низкоэнергетического режима.

AB - Исследована обработка поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона. Исходная поверхность пластин германия бомбардировалась кластерными ионами аргона с высокой (105 эВ/атом) и низкой (10 эВ/атом) удельной энергией. Используя атомно-силовой микроскоп, получены изображения и проведено сравнение топографии поверхности до и после ионно-кластерной бомбардировки. С помощью функции спектральной плотности мощности шероховатости продемонстрировано сглаживание поверхности в диапазоне пространственных частот: 1) ν = 1 - 8 мкм-1 - для высокоэнергетического режима, 2) ν = 0.7 - 2.5 мкм-1 - для низкоэнергетического режима.

KW - ИОННО-КЛАСТЕРНЫЙ ПУЧОК

KW - ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ

KW - СГЛАЖИВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ

KW - МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ ГЕРМАНИЙ

KW - ФУНКЦИЯ СПЕКТРАЛЬНОЙ ПЛОТНОСТИ МОЩНОСТИ ШЕРОХОВАТОСТИ

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=68553101

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/1ba2a7d1-0d68-307a-9299-fdc2ce1395f9/

U2 - 10.55959/MSU0579-9392.79.2430301

DO - 10.55959/MSU0579-9392.79.2430301

M3 - статья

VL - 79

JO - Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия

JF - Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия

SN - 0579-9392

IS - 3

M1 - 2430301

ER -

ID: 60095545