TY - CONF

T1 - ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

AU - Шаяпов, Владимир Равильевич

AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

AU - Гейдт, Павел Викторович

N1 - Conference code: IV

PY - 2026

Y1 - 2026

N2 - Исследованы эмиссионные спектры плазмы при импульсном DC магнетронном распылении мишени алюминия в среде азота с целью получения пленок нитрида алюминия. При записи спектров варьировались мощность питания магнетрона, концентрация азота в газовой смеси Ar+N2 и суммарный поток этой смеси. Полученные закономерности в изменении относительных интенсивностей обнаруженных на спектрах линий и полос сопоставлены с характеристиками пленок (скорость роста, механические напряжения).

AB - Исследованы эмиссионные спектры плазмы при импульсном DC магнетронном распылении мишени алюминия в среде азота с целью получения пленок нитрида алюминия. При записи спектров варьировались мощность питания магнетрона, концентрация азота в газовой смеси Ar+N2 и суммарный поток этой смеси. Полученные закономерности в изменении относительных интенсивностей обнаруженных на спектрах линий и полос сопоставлены с характеристиками пленок (скорость роста, механические напряжения).

M3 - тезисы

SP - 360

EP - 361

T2 - Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026

Y2 - 6 October 2026 through 8 October 2026

ER -