Standard

ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ. / Шаяпов, Владимир Равильевич; Чепкасов, Сергей Юрьевич; Богословцева, Алена Леонидовна et al.

2026. 360-361 Abstract from Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Abstract

Harvard

Шаяпов, ВР, Чепкасов, СЮ, Богословцева, АЛ & Гейдт, ПВ 2026, 'ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ', Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation, 06.10.2026 - 08.10.2026 pp. 360-361.

APA

Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л., & Гейдт, П. В. (2026). ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ. 360-361. Abstract from Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation.

Vancouver

Шаяпов ВР, Чепкасов СЮ, Богословцева АЛ, Гейдт ПВ. ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ. 2026. Abstract from Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation.

Author

Шаяпов, Владимир Равильевич ; Чепкасов, Сергей Юрьевич ; Богословцева, Алена Леонидовна et al. / ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ. Abstract from Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation.2 p.

BibTeX

@conference{e6fb82d845d44a509f20cd2daf49393b,
title = "ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ",
abstract = " Исследованы эмиссионные спектры плазмы при импульсном DC магнетронном распылении мишени алюминия в среде азота с целью получения пленок нитрида алюминия. При записи спектров варьировались мощность питания магнетрона, концентрация азота в газовой смеси Ar+N2 и суммарный поток этой смеси. Полученные закономерности в изменении относительных интенсивностей обнаруженных на спектрах линий и полос сопоставлены с характеристиками пленок (скорость роста, механические напряжения).",
author = "Шаяпов, {Владимир Равильевич} and Чепкасов, {Сергей Юрьевич} and Богословцева, {Алена Леонидовна} and Гейдт, {Павел Викторович}",
note = "Шаяпов В. Р., Чепкасов С. Ю., Богословцева А. Л., Гейдт П. В. Оптическая эмиссионная спектроскопия плазмы при магнетронном распылении пленок нитрида алюминия // Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества : тезисы докладов IV Международной научной конференции (6–8 октября 2026 года, Омск, Россия). Омск : ОНИИП, 2026. ; Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026 : РФИВ 2026, РФИВ 2026 ; Conference date: 06-10-2026 Through 08-10-2026",
year = "2026",
language = "русский",
pages = "360--361",
url = "https://oniip.ru/nauka/iv-mnk-rfiv-2026/",

}

RIS

TY - CONF

T1 - ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

AU - Шаяпов, Владимир Равильевич

AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

AU - Гейдт, Павел Викторович

N1 - Conference code: IV

PY - 2026

Y1 - 2026

N2 - Исследованы эмиссионные спектры плазмы при импульсном DC магнетронном распылении мишени алюминия в среде азота с целью получения пленок нитрида алюминия. При записи спектров варьировались мощность питания магнетрона, концентрация азота в газовой смеси Ar+N2 и суммарный поток этой смеси. Полученные закономерности в изменении относительных интенсивностей обнаруженных на спектрах линий и полос сопоставлены с характеристиками пленок (скорость роста, механические напряжения).

AB - Исследованы эмиссионные спектры плазмы при импульсном DC магнетронном распылении мишени алюминия в среде азота с целью получения пленок нитрида алюминия. При записи спектров варьировались мощность питания магнетрона, концентрация азота в газовой смеси Ar+N2 и суммарный поток этой смеси. Полученные закономерности в изменении относительных интенсивностей обнаруженных на спектрах линий и полос сопоставлены с характеристиками пленок (скорость роста, механические напряжения).

M3 - тезисы

SP - 360

EP - 361

T2 - Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026

Y2 - 6 October 2026 through 8 October 2026

ER -

ID: 85125259