Characterization of Structure, Morphology, Optical and Electrical Properties of AlN–Al–V Multilayer Thin Films Fabricated by Reactive DC Magnetron Sputtering

Миронова, М. И., Капишников, А. В., Хамуд, Г., Володин, В. А., Азаров, И. А., Юшков, И. Д., Камаев, Г. Н., Супрун, Е., Chirikov, N., Davletkildeev, N. A., Baidakov, A. N., Kovivchak, V. S., Baranova, L. V., Струнин, В. И. & Гейдт, П. В., февр. 2023, в: Coatings. 13, 2, 223.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование