DOI

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)842-847
Число страниц6
ЖурналRussian Microelectronics
Том54
Номер выпуска8
DOI
СостояниеОпубликовано - дек. 2025

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ

ID: 75917207