1. Aluminium nitride thin films surface smoothing by argon cluster ions

    Korobeishchikov, N., Geydt, P., Nikolaev, I., Strunin, V. & Roenko, M., 14 сент. 2020, Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., стр. 722-725 4 стр. 9242187. (Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020).

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаяРецензирование

Назад 1...3 4 5 6 7 Далее

ID: 17839471