Research output: Contribution to conference › Abstract
THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES. / Шевченко, Олеся Николаевна; Николаев, Назар Александрович; Рыбак, Алина Анатольевна et al.
2025. 87 Abstract from XVII Международная конференция по импульсным лазерам и применениям лазеров – AMPL-2025Research output: Contribution to conference › Abstract
}
TY - CONF
T1 - THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES
AU - Шевченко, Олеся Николаевна
AU - Николаев, Назар Александрович
AU - Рыбак, Алина Анатольевна
AU - Богословцева, Алена Леонидовна
AU - Гейдт, Павел Викторович
AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич
AU - Максимовский, Евгений Анатольевич
N1 - Conference code: XVII
PY - 2025
Y1 - 2025
M3 - Abstract
SP - 87
T2 - XVII Международная конференция по импульсным лазерам и применениям лазеров – AMPL-2025<br/>
Y2 - 14 September 2025 through 19 September 2025
ER -
ID: 72847563