Standard

Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов. / Богословцева, Алена Леонидовна; Капишников, Александр Владимирович; Гейдт, Павел Викторович.

Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). 2023. p. 247.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Богословцева, АЛ, Капишников, АВ & Гейдт, ПВ 2023, Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов. in Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). pp. 247.

APA

Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., & Гейдт, П. В. (2023). Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов. In Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023) (pp. 247)

Vancouver

Богословцева АЛ, Капишников АВ, Гейдт ПВ. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов. In Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). 2023. p. 247

Author

Богословцева, Алена Леонидовна ; Капишников, Александр Владимирович ; Гейдт, Павел Викторович. / Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов. Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). 2023. pp. 247

BibTeX

@inproceedings{453374373e014b5090ea30d833b676ab,
title = "Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна} and Капишников, {Александр Владимирович} and Гейдт, {Павел Викторович}",
year = "2023",
language = "русский",
pages = "247",
booktitle = "Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023)",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

AU - Капишников, Александр Владимирович

AU - Гейдт, Павел Викторович

PY - 2023

Y1 - 2023

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SP - 247

BT - Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023)

ER -

ID: 59546424