Standard

Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении. / Гейдт, Павел Викторович (Author); Чепкасов, Сергей Юрьевич (Author).

Новосибирский государственный университет. Patent No.: 52. Dec 29, 2021.

Research output: Patent › Know-how registration

Harvard

Гейдт, ПВ & Чепкасов, СЮ Dec. 29 2021, Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении, Patent No. 52.

APA

Гейдт, П. В., & Чепкасов, С. Ю. (2021). Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении. (Patent No. 52). Новосибирский государственный университет.

Vancouver

Гейдт ПВ, Чепкасов СЮ, inventors. Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении. 52. 2021 Dec 29.

Author

Гейдт, Павел Викторович (Author) ; Чепкасов, Сергей Юрьевич (Author). / Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении. Новосибирский государственный университет. Patent No.: 52. Dec 29, 2021.

BibTeX

@misc{3af66b4b6df9467daabf25d81f9f74db,
title = "Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении",
keywords = "ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, НИТРИД АЛЮМИНИЯ, МАГНЕТРОН",
author = "Гейдт, {Павел Викторович} and Чепкасов, {Сергей Юрьевич}",
year = "2021",
month = dec,
day = "29",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "52",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич

PY - 2021/12/29

Y1 - 2021/12/29

KW - ФИЗИКА ПЛАЗМЫ

KW - ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ

KW - НИТРИД АЛЮМИНИЯ

KW - МАГНЕТРОН

UR - https://www.rosrid.ru/rid/detail/C4HS3I7HRKS7731VAKARYW26

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 52

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 35034538