Standard

Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении. / Гейдт, Павел Викторович (автор); Чепкасов, Сергей Юрьевич (автор).

Новосибирский государственный университет. Номер патента: 52. дек. 29, 2021.

Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

Harvard

Гейдт, ПВ & Чепкасов, СЮ дек.. 29 2021, Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении, Номер патента 52.

APA

Гейдт, П. В., & Чепкасов, С. Ю. (2021). Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении. (Номер патента 52). Новосибирский государственный университет.

Vancouver

Гейдт ПВ, Чепкасов СЮ, Изобретатели. Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении. 52. 2021 дек. 29.

Author

Гейдт, Павел Викторович (автор) ; Чепкасов, Сергей Юрьевич (автор). / Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении. Новосибирский государственный университет. Номер патента: 52. дек. 29, 2021.

BibTeX

@misc{3af66b4b6df9467daabf25d81f9f74db,
title = "Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении",
keywords = "ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, НИТРИД АЛЮМИНИЯ, МАГНЕТРОН",
author = "Гейдт, {Павел Викторович} and Чепкасов, {Сергей Юрьевич}",
year = "2021",
month = dec,
day = "29",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "52",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич

PY - 2021/12/29

Y1 - 2021/12/29

KW - ФИЗИКА ПЛАЗМЫ

KW - ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ

KW - НИТРИД АЛЮМИНИЯ

KW - МАГНЕТРОН

UR - https://www.rosrid.ru/rid/detail/C4HS3I7HRKS7731VAKARYW26

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 52

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 35034538