Standard

Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Лапега, Алина Витальевна.

In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, No. 2, 8, 2025, p. 60-64.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Николаев, ИВ, Коробейщиков, НГ & Лапега, АВ 2025, 'Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚', Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, no. 2, 8, pp. 60-64. https://doi.org/10.31857/S1028096025020089

APA

Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., & Лапега, А. В. (2025). Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, (2), 60-64. [8]. https://doi.org/10.31857/S1028096025020089

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ, Лапега АВ. Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(2):60-64. 8. doi: 10.31857/S1028096025020089

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Лапега, Алина Витальевна. / Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚. In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025 ; No. 2. pp. 60-64.

BibTeX

@article{965b86a2cc0c4ae3b309a80216c9426c,
title = "Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚",
abstract = "Рассмотрено формирование самоупорядоченных наноструктур на поверхности монокристаллических кремния и германия с помощью ионно-кластерной обработки. Использованы низкоэнергетические кластерные ионы аргона для более эффективного наноструктурирования поверхности мишеней. С помощью атомно-силового микроскопа проанализирована морфология поверхности мишеней до и после обработки ионно-кластерным пучком аргона. Показано, что обработка низкоэнергетическими кластерными ионами аргона при угле падения 60° относительно нормали к поверхности приводит к эффективному наноструктурированию поверхности кремния и германия при глубине травления, соизмеримой с амплитудой наноструктур. Приведены параметры шероховатости (среднеквадратичная шероховатость и максимальный перепад высот) исходной и обработанных поверхностей мишеней. Проведено сравнение периодов и амплитуд наноструктур, сформированных на поверхностях кремния и германия. Определено, что для дозы облучения 1 × 1015 см-2 период наноструктур на поверхностях монокристаллического кремния и германия составляет около 200 нм, в случае германия период больше. Амплитуда наноструктур на поверхности кремния и германия составила около 65 и 50 нм соответственно. После обработки кластерными ионами аргона формируется более развитая поверхность монокристаллического кремния по сравнению с германием.",
keywords = "НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ, ПОЛУПРОВОДНИКИ, ГАЗОВЫЙ КЛАСТЕР, ИОННО-КЛАСТЕРНЫЙ ПУЧОК, АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ, ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ, NANOSTRUCTURING, SEMICONDUCTORS, SINGLE CRYSTALS, GAS CLUSTER, CLUSTER ION BEAM, ATOMIC FORCE MICROSCOPY, SURFACE MORPHOLOGY, SURFACE ROUGHNESS",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Лапега, {Алина Витальевна}",
note = "Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60° / И. В. Николаев, Н. Г. Коробейщиков, А. В. Лапега // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2025. – № 2. – С. 60-64. – DOI 10.31857/S1028096025020089. – EDN EHKNOR. Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 23-79-10061 (https:// rscf.ru/project/23-79-10061/) с использованием оборудования ЦКП “Прикладная физика” НГУ.",
year = "2025",
doi = "10.31857/S1028096025020089",
language = "русский",
pages = "60--64",
journal = "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования",
issn = "1028-0960",
publisher = "ФГБУ {"}Издательство {"}Наука{"}",
number = "2",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Лапега, Алина Витальевна

N1 - Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60° / И. В. Николаев, Н. Г. Коробейщиков, А. В. Лапега // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2025. – № 2. – С. 60-64. – DOI 10.31857/S1028096025020089. – EDN EHKNOR. Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 23-79-10061 (https:// rscf.ru/project/23-79-10061/) с использованием оборудования ЦКП “Прикладная физика” НГУ.

PY - 2025

Y1 - 2025

N2 - Рассмотрено формирование самоупорядоченных наноструктур на поверхности монокристаллических кремния и германия с помощью ионно-кластерной обработки. Использованы низкоэнергетические кластерные ионы аргона для более эффективного наноструктурирования поверхности мишеней. С помощью атомно-силового микроскопа проанализирована морфология поверхности мишеней до и после обработки ионно-кластерным пучком аргона. Показано, что обработка низкоэнергетическими кластерными ионами аргона при угле падения 60° относительно нормали к поверхности приводит к эффективному наноструктурированию поверхности кремния и германия при глубине травления, соизмеримой с амплитудой наноструктур. Приведены параметры шероховатости (среднеквадратичная шероховатость и максимальный перепад высот) исходной и обработанных поверхностей мишеней. Проведено сравнение периодов и амплитуд наноструктур, сформированных на поверхностях кремния и германия. Определено, что для дозы облучения 1 × 1015 см-2 период наноструктур на поверхностях монокристаллического кремния и германия составляет около 200 нм, в случае германия период больше. Амплитуда наноструктур на поверхности кремния и германия составила около 65 и 50 нм соответственно. После обработки кластерными ионами аргона формируется более развитая поверхность монокристаллического кремния по сравнению с германием.

AB - Рассмотрено формирование самоупорядоченных наноструктур на поверхности монокристаллических кремния и германия с помощью ионно-кластерной обработки. Использованы низкоэнергетические кластерные ионы аргона для более эффективного наноструктурирования поверхности мишеней. С помощью атомно-силового микроскопа проанализирована морфология поверхности мишеней до и после обработки ионно-кластерным пучком аргона. Показано, что обработка низкоэнергетическими кластерными ионами аргона при угле падения 60° относительно нормали к поверхности приводит к эффективному наноструктурированию поверхности кремния и германия при глубине травления, соизмеримой с амплитудой наноструктур. Приведены параметры шероховатости (среднеквадратичная шероховатость и максимальный перепад высот) исходной и обработанных поверхностей мишеней. Проведено сравнение периодов и амплитуд наноструктур, сформированных на поверхностях кремния и германия. Определено, что для дозы облучения 1 × 1015 см-2 период наноструктур на поверхностях монокристаллического кремния и германия составляет около 200 нм, в случае германия период больше. Амплитуда наноструктур на поверхности кремния и германия составила около 65 и 50 нм соответственно. После обработки кластерными ионами аргона формируется более развитая поверхность монокристаллического кремния по сравнению с германием.

KW - НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ

KW - ПОЛУПРОВОДНИКИ

KW - ГАЗОВЫЙ КЛАСТЕР

KW - ИОННО-КЛАСТЕРНЫЙ ПУЧОК

KW - АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

KW - МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ

KW - ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ

KW - NANOSTRUCTURING

KW - SEMICONDUCTORS

KW - SINGLE CRYSTALS

KW - GAS CLUSTER

KW - CLUSTER ION BEAM

KW - ATOMIC FORCE MICROSCOPY

KW - SURFACE MORPHOLOGY

KW - SURFACE ROUGHNESS

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=82382365

U2 - 10.31857/S1028096025020089

DO - 10.31857/S1028096025020089

M3 - статья

SP - 60

EP - 64

JO - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

JF - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

SN - 1028-0960

IS - 2

M1 - 8

ER -

ID: 68110429