Standard

Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Лапега, Алина Витальевна.

In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, No. 2, 2025.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Николаев, ИВ, Коробейщиков, НГ & Лапега, АВ 2025, 'Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚', Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, no. 2. https://doi.org/10.31857/S1028096025020089

APA

Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., & Лапега, А. В. (2025). Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, (2). https://doi.org/10.31857/S1028096025020089

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ, Лапега АВ. Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025;(2). doi: 10.31857/S1028096025020089

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Лапега, Алина Витальевна. / Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚. In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2025 ; No. 2.

BibTeX

@article{965b86a2cc0c4ae3b309a80216c9426c,
title = "Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Лапега, {Алина Витальевна}",
year = "2025",
doi = "10.31857/S1028096025020089",
language = "русский",
journal = "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования",
issn = "1028-0960",
publisher = "ФГБУ {"}Издательство {"}Наука{"}",
number = "2",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Лапега, Алина Витальевна

PY - 2025

Y1 - 2025

U2 - 10.31857/S1028096025020089

DO - 10.31857/S1028096025020089

M3 - статья

JO - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

JF - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

SN - 1028-0960

IS - 2

ER -

ID: 68110429