Standard

Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа. / Николаев, Иван Владимирович (Author); Гейдт, Павел Викторович (Author).

Редакционно-издательский центр НГУ. Patent No.: 125. Dec 28, 2024.

Research output: Patent › Know-how registration

Harvard

Николаев, ИВ & Гейдт, ПВ Dec. 28 2024, Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа., Patent No. 125.

APA

Николаев, И. В., & Гейдт, П. В. (2024). Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа. (Patent No. 125). Редакционно-издательский центр НГУ.

Vancouver

Николаев ИВ, Гейдт ПВ, inventors. Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа. 125. 2024 Dec 28.

Author

Николаев, Иван Владимирович (Author) ; Гейдт, Павел Викторович (Author). / Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа. Редакционно-издательский центр НГУ. Patent No.: 125. Dec 28, 2024.

BibTeX

@misc{762d10a6649144fcbf4ff69f589f67c9,
title = "Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа.",
keywords = "АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, НАНОМЕТРОЛОГИЯ, ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ, НАНОЛИТОГРАФИЯ, МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ, ЗАРЯДОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, МЕХАНИЧЕССКАЯ ЛИТОГРАФИЯ",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Гейдт, {Павел Викторович}",
year = "2024",
month = dec,
day = "28",
language = "русский",
publisher = "Редакционно-издательский центр НГУ",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "125",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа.

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Гейдт, Павел Викторович

PY - 2024/12/28

Y1 - 2024/12/28

KW - АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

KW - СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

KW - НАНОМЕТРОЛОГИЯ

KW - ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ

KW - НАНОЛИТОГРАФИЯ

KW - МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ

KW - ЗАРЯДОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

KW - МЕХАНИЧЕССКАЯ ЛИТОГРАФИЯ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 125

Y2 - 2024/12/28

PB - Редакционно-издательский центр НГУ

ER -

ID: 61325162