Standard

Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Гейдт, Павел Викторович et al.

XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»: Труды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова. Москва : National Research Nuclear University "MEPhI", 2021. p. 68-70 12.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Николаев, ИВ, Коробейщиков, НГ, Гейдт, ПВ & Струнин, ВИ 2021, Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия. in XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»: Труды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова., 12, National Research Nuclear University "MEPhI", Москва, pp. 68-70, XXV Международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью»
, Ярославль, Russian Federation, 23.08.2021.

APA

Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В., & Струнин, В. И. (2021). Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия. In XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»: Труды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова (pp. 68-70). [12] National Research Nuclear University "MEPhI".

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ, Гейдт ПВ, Струнин ВИ. Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия. In XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»: Труды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова. Москва: National Research Nuclear University "MEPhI". 2021. p. 68-70. 12

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Гейдт, Павел Викторович et al. / Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия. XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»: Труды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова. Москва : National Research Nuclear University "MEPhI", 2021. pp. 68-70

BibTeX

@inproceedings{90f2196bd437462581f91de88a598fcc,
title = "Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия",
abstract = "In this paper, the surface modification of aluminium nitride thin films at various parameters of argon cluster ions. It demonstrated that the cluster ions with both high and low energies per atom have a high efficiency of surface smoothing. A comparison of the surface roughness parameters obtained by atomic force microscopy is presented.",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Гейдт, {Павел Викторович} and Струнин, {Владимир Иванович}",
note = "Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Гейдт П.В., Струнин В.И. Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия // XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021» : Труды XXV Международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова, Москва, 23–27 августа 2021 года. – Москва: Национальный исследовательский ядерный университет {"}МИФИ{"}, 2021. – С. 68-70.; XXV Международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью»<br/>, ВИП-2021 ; Conference date: 23-08-2021 Through 27-08-2021",
year = "2021",
month = aug,
day = "23",
language = "русский",
pages = "68--70",
booktitle = "XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»",
publisher = "National Research Nuclear University {"}MEPhI{"}",
address = "Российская Федерация",
url = "http://isi2021.uniyar.ac.ru/rus/first_rus.html",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Струнин, Владимир Иванович

N1 - Conference code: XXV

PY - 2021/8/23

Y1 - 2021/8/23

N2 - In this paper, the surface modification of aluminium nitride thin films at various parameters of argon cluster ions. It demonstrated that the cluster ions with both high and low energies per atom have a high efficiency of surface smoothing. A comparison of the surface roughness parameters obtained by atomic force microscopy is presented.

AB - In this paper, the surface modification of aluminium nitride thin films at various parameters of argon cluster ions. It demonstrated that the cluster ions with both high and low energies per atom have a high efficiency of surface smoothing. A comparison of the surface roughness parameters obtained by atomic force microscopy is presented.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=47222205

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SP - 68

EP - 70

BT - XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»

PB - National Research Nuclear University "MEPhI"

CY - Москва

T2 - XXV Международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью»<br/>

Y2 - 23 August 2021 through 27 August 2021

ER -

ID: 36095596