Translated title of the contributionInfluence of treatment with argon cluster ions on the surface morphology of aluminum nitride
Original languageRussian
Title of host publicationXXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»
Subtitle of host publicationТруды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова
Place of PublicationМосква
PublisherNational Research Nuclear University "MEPhI"
Pages68-70
Number of pages3
Publication statusPublished - 23 Aug 2021
EventXXV Международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью»
 - Ярославль, Russian Federation
Duration: 23 Aug 2021 → 27 Aug 2021
Conference number: XXV
http://isi2021.uniyar.ac.ru/rus/first_rus.html

Conference

ConferenceXXV Международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью»
Abbreviated titleВИП-2021
Country/TerritoryRussian Federation
CityЯрославль
Period23.08.2021 → 27.08.2021
Internet address

    State classification of scientific and technological information

  • 29 PHYSICS

    OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

ID: 36095596