TY - CONF

T1 - Распыление поверхности плавленого кварца ионно-кластерным пучком

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Стишенко, Павел Викторович

N1 - Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (грант № 21-19-00046).

PY - 2023/6/15

Y1 - 2023/6/15

N2 - Экспериментально и с помощью МД-моделирования исследовано распыление поверхности плавленого кварца (SiO2) ионно-кластерным пучком аргона. Изучена динамика столкновения кластеров с твердой поверхностью и особенности распыления, включая селективность распыления. Показано, что бомбардировка кластерными ионами позволяет сглаживать поверхностные неровности с латеральными размерами до 5 мкм. Установлено, что коэффициенты распыления Y обобщаются в виде нелинейных зависимостей Y/N от E/N как при наклонном, так и при нормальном падении кластеров.

AB - Экспериментально и с помощью МД-моделирования исследовано распыление поверхности плавленого кварца (SiO2) ионно-кластерным пучком аргона. Изучена динамика столкновения кластеров с твердой поверхностью и особенности распыления, включая селективность распыления. Показано, что бомбардировка кластерными ионами позволяет сглаживать поверхностные неровности с латеральными размерами до 5 мкм. Установлено, что коэффициенты распыления Y обобщаются в виде нелинейных зависимостей Y/N от E/N как при наклонном, так и при нормальном падении кластеров.

M3 - тезисы

SP - 220

EP - 221

T2 - Физика низкотемпературной плазмы (ФНТП-2023): Всероссийская (с международным участием) конференция

Y2 - 5 June 2023 through 9 June 2023

ER -