Documents

Translated title of the contributionSputtering of fused quartz surface by cluster ion beam
Original languageRussian
Pages220-221
Number of pages2
Publication statusPublished - 15 Jun 2023
EventФизика низкотемпературной плазмы (ФНТП-2023): Всероссийская (с международным участием) конференция - Казань, Russian Federation
Duration: 5 Jun 20239 Jun 2023
https://pltp.ru/

Conference

ConferenceФизика низкотемпературной плазмы (ФНТП-2023): Всероссийская (с международным участием) конференция
Abbreviated titleФНТП-2023
Country/TerritoryRussian Federation
CityКазань
Period05.06.202309.06.2023
Internet address

    OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

ID: 52272970