Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review
Final published version, 8.93 MB, PDF document
Translated title of the contribution | Sputtering of fused quartz surface by cluster ion beam |
---|---|
Original language | Russian |
Pages | 220-221 |
Number of pages | 2 |
Publication status | Published - 15 Jun 2023 |
Event | Физика низкотемпературной плазмы (ФНТП-2023): Всероссийская (с международным участием) конференция - Казань, Russian Federation Duration: 5 Jun 2023 → 9 Jun 2023 https://pltp.ru/ |
Conference | Физика низкотемпературной плазмы (ФНТП-2023): Всероссийская (с международным участием) конференция |
---|---|
Abbreviated title | ФНТП-2023 |
Country/Territory | Russian Federation |
City | Казань |
Period | 05.06.2023 → 09.06.2023 |
Internet address |
ID: 52272970