Сергей Юрьевич Чепкасов - Research output › Research Explorer

11 - 12 out of 12Page size: 10

10
20
50
100

Sort by: Title

МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, p. 58-60. 2 p.
Research output: Contribution to conference › Abstract
Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении
Гейдт, П. В. & Чепкасов, С. Ю., 29 Dec 2021, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 52, Priority date 28 Dec 2021
Research output: Patent › Know-how registration

Previous 1 2 Next

ID: 12586369