DOI

  • V. V. Rumyantsev
  • D. V. Kozlov
  • S. V. Morozov
  • M. A. Fadeev
  • A. M. Kadykov
  • F. Teppe
  • V. S. Varavin
  • M. V. Yakushev
  • N. N. Mikhailov
  • S. A. Dvoretskii
  • V. I. Gavrilenko
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи095007
Число страниц9
ЖурналSemiconductor Science and Technology
Том32
Номер выпуска9
DOI
СостояниеОпубликовано - 16 авг. 2017

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 9915519