DOI

  • G. N. Kamaev
  • S. G. Cherkova
  • A. A. Gismatulin
  • V. A. Volodin
  • V. A. Skuratov
Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииInternational Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
РедакторыVladimir F. Lukichev, Konstantin V. Rudenko
ИздательSPIE
Число страниц6
Том11022
ISBN (электронное издание)9781510627093
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 янв. 2019
СобытиеInternational Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, ICMNE 2018 - Zvenigorod, Российская Федерация
Продолжительность: 1 окт. 2018 → 5 окт. 2018

Серия публикаций

НазваниеProceedings of SPIE
ИздательSPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
Том11022
ISSN (печатное издание)0277-786X

Конференция

КонференцияInternational Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, ICMNE 2018
Страна/TерриторияРоссийская Федерация
ГородZvenigorod
Период01.10.2018 → 05.10.2018

ID: 19040011