Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Переведенное название | Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона |
|---|---|
| Язык оригинала | английский |
| Номер статьи | 12 |
| Страницы (с-по) | 301-304 |
| Число страниц | 4 |
| Журнал | Technical Physics Letters |
| Том | 47 |
| Номер выпуска | 4 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - апр. 2021 |
ID: 34976742