Simulation of Surface Sputtering of Fused Quartz by Clusters of Different Gases › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1063/5.0140411
Конечная издательская версия

Язык оригинала	английский
Номер статьи	040005
Число страниц	4
Журнал	AIP Conference Proceedings
Том	2784
DOI	https://doi.org/10.1063/5.0140411
Состояние	Опубликовано - 26 июл. 2023

Предметные области OECD FOS+WOS

1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 53262407