Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Номер статьи | 063408 |
| Число страниц | 7 |
| Журнал | Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films |
| Том | 38 |
| Номер выпуска | 6 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 1 дек. 2020 |
ID: 25862386