DOI

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииInternational Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021
РедакторыVladimir F. Lukichev, Konstantin V. Rudenko
ИздательSPIE
ISBN (электронное издание)978-151065190-6
ISBN (печатное издание)9781510651906
DOI
СостояниеОпубликовано - 2022
Событие14th International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021, ICMNE 2021 - Zvenigorod, Российская Федерация
Продолжительность: 4 окт. 2021 → 8 окт. 2021

Серия публикаций

НазваниеProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Том12157
ISSN (печатное издание)0277-786X
ISSN (электронное издание)1996-756X

Конференция

Конференция14th International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021, ICMNE 2021
Страна/TерриторияРоссийская Федерация
ГородZvenigorod
Период04.10.2021 → 08.10.2021

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ
  • 2.11.XQ СПЕКТРОСКОПИЯ
  • 2.02.IQ ИНЖЕНЕРИЯ, ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ И ЭЛЕКТРОННАЯ

ID: 35611931