Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | S84-S91 |
| Число страниц | 8 |
| Журнал | Russian Microelectronics |
| Том | 52 |
| Номер выпуска | Suppl 1 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - дек. 2023 |
ID: 59888365