DOI

  • E. Bortchagovsky
  • C Simo
  • Ilya Milekhin
  • J Tang
  • Dietrich R.T. Zahn
  • M. Fleischer
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи100172
Число страниц8
ЖурналMicro and Nano Engineering
Том18
DOI
СостояниеОпубликовано - апр. 2023
Опубликовано для внешнего пользованияДа

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 43522637