Layer exchange during aluminum-induced crystallization of silicon suboxide thin films › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1016/j.matlet.2021.129723
Конечная издательская версия

A. O. Zamchiy
E. A. Baranov
I. E. Merkulova
I. V. Korolkov
V. I. Vdovin
A. K. Gutakovskii
V. A. Volodin

Язык оригинала	английский
Номер статьи	129723
Журнал	Materials Letters
Том	293
DOI	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2021.129723
Состояние	Опубликовано - 15 июн. 2021

Предметные области OECD FOS+WOS

2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ
1.03.UK ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ
2.03 МЕХАНИКА И МАШИНОСТРОЕНИЕ
2.03.IU ИНЖЕНЕРИЯ, МЕХАНИЧЕСКАЯ

ID: 28204037