Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 55-59 |
| Число страниц | 5 |
| Журнал | Microelectronic Engineering |
| Том | 206 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 1 февр. 2019 |
ID: 18295759