Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Переведенное название | Электронно-пучковая кристаллизация тонких пленок аморфного субоксида кремния |
|---|---|
| Язык оригинала | английский |
| Страницы (с-по) | 263-265 |
| Число страниц | 3 |
| Журнал | Technical Physics Letters |
| Том | 47 |
| Номер выпуска | 3 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - мар. 2021 |
ID: 34986524