DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи110016
Число страниц11
ЖурналMaterials Science in Semiconductor Processing
Том200
DOI
СостояниеОпубликовано - дек. 2025

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03.UB ФИЗИКА, ПРИКЛАДНАЯ
  • 1.03.UK ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ

ID: 68964541