Charge Transport Mechanism and Trap Origin in Methyl-Terminated Organosilicate Glass Low-κ Dielectrics

Язык оригинала	английский
Номер статьи	2000654
Число страниц	7
Журнал	Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science
Том	218
Номер выпуска	4
Дата раннего онлайн-доступа	11 дек. 2020
DOI	https://doi.org/10.1002/pssa.202000654
Состояние	Опубликовано - февр. 2021

ID: 27117671