Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы
Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов. / Богословцева, Алена Леонидовна.
2023.Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы
}
TY - CONF
T1 - Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов
AU - Богословцева, Алена Леонидовна
PY - 2023
Y1 - 2023
N2 - Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методомимпульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температуранапыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать нанем хорошо текстурированный нитрид алюминия.
AB - Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методомимпульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температуранапыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать нанем хорошо текстурированный нитрид алюминия.
M3 - тезисы
ER -
ID: 59373320