Standard

Harvard

APA

Vancouver

Author

BibTeX

@conference{cebf1859a5b44a4b8aa7dbaf08d0e6ba,
title = "Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов",
abstract = "Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методомимпульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температуранапыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать нанем хорошо текстурированный нитрид алюминия. ",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна}",
year = "2023",
language = "русский",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

PY - 2023

Y1 - 2023

N2 - Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методомимпульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температуранапыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать нанем хорошо текстурированный нитрид алюминия.

AB - Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методомимпульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температуранапыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать нанем хорошо текстурированный нитрид алюминия.

M3 - тезисы

ER -

ID: 59373320