Standard

Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов. / Богословцева, Алена Леонидовна.

2023.

Research output: Contribution to conference › Abstract

Harvard

Богословцева, АЛ 2023, 'Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов'.

APA

Богословцева, А. Л. (2023). Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов.

Vancouver

Богословцева АЛ. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов. 2023.

Author

Богословцева, Алена Леонидовна. / Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов.

BibTeX

@conference{cebf1859a5b44a4b8aa7dbaf08d0e6ba,
title = "Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов",
abstract = "Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методомимпульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температуранапыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать нанем хорошо текстурированный нитрид алюминия. ",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна}",
year = "2023",
language = "русский",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

PY - 2023

Y1 - 2023

N2 - Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методомимпульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температуранапыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать нанем хорошо текстурированный нитрид алюминия.

AB - Исследованы слои AlN/Al, осажденные на кремниевой подложке методомимпульсного магнетронного распыления постоянного тока. Показано, что температуранапыления слоя алюминия влияет на структуру осаждаемого на него слоя нитрида алюминия. Осаждение алюминия на кремний без нагрева подложки позволяет осаждать нанем хорошо текстурированный нитрид алюминия.

M3 - тезисы

ER -

ID: 59373320