Поиск
Главная
Сотрудники
Награды
Оборудование
Проекты
Научная деятельность
Подразделения
Результаты исследований
Пресса/СМИ
О портале
Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов
Результаты исследований
:
Материалы конференций
›
тезисы
Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники
Обзор
Цитировать
Алена Леонидовна Богословцева
Язык оригинала
русский
Состояние
Опубликовано -
2023
ID: 59373320