Search
Frontpage
Staff
Prizes
Equipment
Projects
Activities
Research units
Research output
Press/Media
About
Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов
Research output
:
Contribution to conference
›
Abstract
Laboratory of functional diagnostics of low-dimensional structures for nanoelectronics
Overview
Cite this
Алена Леонидовна Богословцева
Original language
Russian
Publication status
Published -
2023
ID: 59373320