Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

Standard

Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. / Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Гейдт, Павел Викторович и др.

в: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 7, 7, 15.07.2022, стр. 46-50.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

BibTeX

@article{36b6ebbd396a4ec5abae4c5da2419eca,

title = "Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si",

abstract = "Рассмотрены особенности обработки поверхности пленок поликристаллического нитрида алюминия на подложках из ситалла и кремния, выращенных в одинаковых условиях. Пленки нитрида алюминия получены в процессе магнетронного распыления мишени из чистого алюминия (99.99%) в азотно-аргоновой плазме при мощности магнетрона 700 Вт. Расход рабочих газов составлял 10 ст. см3/мин для азота и 4 ст. см3/мин для аргона. Толщина пленок определена с помощью кварцевого резонатора внутри камеры магнетронной установки. Методом атомно-силовой микроскопии изучен рельеф поверхности мишеней до и после обработки кластерными ионами аргона. Продемонстрировано, что на исходных поверхностях растут мелкие монокристаллиты, латеральный размер которых находится в диапазоне 250–550 нм. Определена глубина травления мишеней кластерными ионами аргона. Показано, что кластерные ионы с низкой энергией, приходящейся на один атом, обладают высокой эффективностью сглаживания поверхности. Проведено сравнение морфологии поверхности и параметров шероховатости поверхности нитрида алюминия на различных подложках, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии. Показано, что нитрид алюминия на кремнии сглаживается более эффективно, чем на подложке из ситалла.",

author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Гейдт, {Павел Викторович} and Nikita Chirikov and Струнин, {Владимир Иванович}",

note = "Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Гейдт П.В., Чириков Н.А., Струнин В.И. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2022. – № 7. – С. 46-50.",

year = "2022",

month = jul,

day = "15",

doi = "10.31857/S1028096022070159",

language = "русский",

pages = "46--50",

journal = "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования",

issn = "1028-0960",

publisher = "Научный и издательский центр {"}Наука РАН{"}",

number = "7",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Chirikov, Nikita

AU - Струнин, Владимир Иванович

N1 - Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Гейдт П.В., Чириков Н.А., Струнин В.И. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2022. – № 7. – С. 46-50.

PY - 2022/7/15

Y1 - 2022/7/15

N2 - Рассмотрены особенности обработки поверхности пленок поликристаллического нитрида алюминия на подложках из ситалла и кремния, выращенных в одинаковых условиях. Пленки нитрида алюминия получены в процессе магнетронного распыления мишени из чистого алюминия (99.99%) в азотно-аргоновой плазме при мощности магнетрона 700 Вт. Расход рабочих газов составлял 10 ст. см3/мин для азота и 4 ст. см3/мин для аргона. Толщина пленок определена с помощью кварцевого резонатора внутри камеры магнетронной установки. Методом атомно-силовой микроскопии изучен рельеф поверхности мишеней до и после обработки кластерными ионами аргона. Продемонстрировано, что на исходных поверхностях растут мелкие монокристаллиты, латеральный размер которых находится в диапазоне 250–550 нм. Определена глубина травления мишеней кластерными ионами аргона. Показано, что кластерные ионы с низкой энергией, приходящейся на один атом, обладают высокой эффективностью сглаживания поверхности. Проведено сравнение морфологии поверхности и параметров шероховатости поверхности нитрида алюминия на различных подложках, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии. Показано, что нитрид алюминия на кремнии сглаживается более эффективно, чем на подложке из ситалла.

AB - Рассмотрены особенности обработки поверхности пленок поликристаллического нитрида алюминия на подложках из ситалла и кремния, выращенных в одинаковых условиях. Пленки нитрида алюминия получены в процессе магнетронного распыления мишени из чистого алюминия (99.99%) в азотно-аргоновой плазме при мощности магнетрона 700 Вт. Расход рабочих газов составлял 10 ст. см3/мин для азота и 4 ст. см3/мин для аргона. Толщина пленок определена с помощью кварцевого резонатора внутри камеры магнетронной установки. Методом атомно-силовой микроскопии изучен рельеф поверхности мишеней до и после обработки кластерными ионами аргона. Продемонстрировано, что на исходных поверхностях растут мелкие монокристаллиты, латеральный размер которых находится в диапазоне 250–550 нм. Определена глубина травления мишеней кластерными ионами аргона. Показано, что кластерные ионы с низкой энергией, приходящейся на один атом, обладают высокой эффективностью сглаживания поверхности. Проведено сравнение морфологии поверхности и параметров шероховатости поверхности нитрида алюминия на различных подложках, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии. Показано, что нитрид алюминия на кремнии сглаживается более эффективно, чем на подложке из ситалла.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=48622250

U2 - 10.31857/S1028096022070159

DO - 10.31857/S1028096022070159

M3 - статья

SP - 46

EP - 50

JO - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

JF - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

SN - 1028-0960

IS - 7

M1 - 7

ER -

ID: 36950240