Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Переведенное название | CLUSTER ION TREATMENT OF THE SURFACE OF SINGLE-CRYSTAL SILICON AND GERMANIUM AT AN ANGLE OF 60° |
|---|---|
| Язык оригинала | русский |
| Номер статьи | 8 |
| Страницы (с-по) | 60-64 |
| Число страниц | 5 |
| Журнал | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования |
| Номер выпуска | 2 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 2025 |
ID: 68110429