Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии

Переведенное название	Implementation of terahertz high-pass filters based on all-metal microsrtuctures using deep x-ray lithography
Язык оригинала	русский
Номер статьи	2
Страницы (с-по)	14-27
Число страниц	14
Журнал	Автометрия
Том	55
Номер выпуска	2
DOI	https://doi.org/10.15372/AUT20190202
Состояние	Опубликовано - 2019

глубокая рентгеновская литография, LIGA-технология, микроструктуры, квазиоптические фильтры, терагерцовый диапазон

ID: 22427176