Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау
Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. / Кузнецов, Александр Николаевич (автор); Chirikov, Nikita (автор); Богословцева, Алена Леонидовна (автор).
Новосибирский государственный университет. Номер патента: 76. дек. 22, 2022.Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау
}
TY - PAT
T1 - Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты
AU - Кузнецов, Александр Николаевич
AU - Chirikov, Nikita
AU - Богословцева, Алена Леонидовна
PY - 2022/12/22
Y1 - 2022/12/22
KW - ВЫСОКИЙ ВАКУУМ
KW - ОСОБОЧИСТЫЕ ГАЗЫ
KW - СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗОВ
KW - МАГНТЕРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ
KW - ОТСЕКАЩИЕ ВЕНТИЛИ
M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау
M1 - 76
PB - Новосибирский государственный университет
ER -
ID: 42221323