Standard

Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. / Кузнецов, Александр Николаевич (автор); Chirikov, Nikita (автор); Богословцева, Алена Леонидовна (автор).

Новосибирский государственный университет. Номер патента: 76. дек. 22, 2022.

Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

Harvard

APA

Кузнецов, А. Н., Chirikov, N., & Богословцева, А. Л. (2022). Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. (Номер патента 76). Новосибирский государственный университет.

Vancouver

Author

Кузнецов, Александр Николаевич (автор) ; Chirikov, Nikita (автор) ; Богословцева, Алена Леонидовна (автор). / Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. Новосибирский государственный университет. Номер патента: 76. дек. 22, 2022.

BibTeX

@misc{b54ee1419cdb4fc39a35df28ec328c65,
title = "Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты",
keywords = "ВЫСОКИЙ ВАКУУМ, ОСОБОЧИСТЫЕ ГАЗЫ, СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗОВ, МАГНТЕРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ, ОТСЕКАЩИЕ ВЕНТИЛИ",
author = "Кузнецов, {Александр Николаевич} and Nikita Chirikov and Богословцева, {Алена Леонидовна}",
year = "2022",
month = dec,
day = "22",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "76",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты

AU - Кузнецов, Александр Николаевич

AU - Chirikov, Nikita

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

PY - 2022/12/22

Y1 - 2022/12/22

KW - ВЫСОКИЙ ВАКУУМ

KW - ОСОБОЧИСТЫЕ ГАЗЫ

KW - СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗОВ

KW - МАГНТЕРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ

KW - ОТСЕКАЩИЕ ВЕНТИЛИ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 76

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 42221323