Standard

Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. / Кузнецов, Александр Николаевич (Author); Chirikov, Nikita (Author); Богословцева, Алена Леонидовна (Author).

Новосибирский государственный университет. Patent No.: 76. Dec 22, 2022.

Research output: Patent › Know-how registration

Harvard

Кузнецов, АН, Chirikov, N & Богословцева, АЛ Dec. 22 2022, Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты, Patent No. 76.

APA

Кузнецов, А. Н., Chirikov, N., & Богословцева, А. Л. (2022). Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. (Patent No. 76). Новосибирский государственный университет.

Vancouver

Кузнецов АН, Chirikov N, Богословцева АЛ, inventors. Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. 76. 2022 Dec 22.

Author

Кузнецов, Александр Николаевич (Author) ; Chirikov, Nikita (Author) ; Богословцева, Алена Леонидовна (Author). / Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. Новосибирский государственный университет. Patent No.: 76. Dec 22, 2022.

BibTeX

@misc{b54ee1419cdb4fc39a35df28ec328c65,
title = "Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты",
keywords = "ВЫСОКИЙ ВАКУУМ, ОСОБОЧИСТЫЕ ГАЗЫ, СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗОВ, МАГНТЕРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ, ОТСЕКАЩИЕ ВЕНТИЛИ",
author = "Кузнецов, {Александр Николаевич} and Nikita Chirikov and Богословцева, {Алена Леонидовна}",
year = "2022",
month = dec,
day = "22",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "76",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты

AU - Кузнецов, Александр Николаевич

AU - Chirikov, Nikita

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

PY - 2022/12/22

Y1 - 2022/12/22

KW - ВЫСОКИЙ ВАКУУМ

KW - ОСОБОЧИСТЫЕ ГАЗЫ

KW - СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗОВ

KW - МАГНТЕРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ

KW - ОТСЕКАЩИЕ ВЕНТИЛИ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 76

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 42221323