Технология получения высокоупорядоченной ступенчатой поверхности Si (111) -7x7

Романюк, К. Н. & Шкляев, А. А., 25 нояб. 2011, Новосибирский государственный университет, Патент/Св-во № 6, Дата приоритета 22 нояб. 2011

Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау