Standard

Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления. / Богословцева, Алена Леонидовна.

2024.

Research output: Contribution to conference › Abstract

Harvard

Богословцева, АЛ 2024, 'Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления'.

APA

Богословцева, А. Л. (2024). Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления.

Vancouver

Богословцева АЛ. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления. 2024.

Author

Богословцева, Алена Леонидовна. / Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления.

BibTeX

@conference{4e98bb8857384cf99be1fea74903236d,
title = "Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна}",
year = "2024",
language = "русский",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

PY - 2024

Y1 - 2024

M3 - тезисы

ER -

ID: 61324582