Standard

Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления. / Богословцева, Алена Леонидовна.

2024. 249 Аннотация от Двадцать восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых ВНКСФ-28, Новосибирск, Российская Федерация.

Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

Harvard

Богословцева, АЛ 2024, 'Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления', Двадцать восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых ВНКСФ-28, Новосибирск, Российская Федерация, 01.04.2024 - 06.04.2024 стр. 249.

APA

Богословцева, А. Л. (2024). Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления. 249. Аннотация от Двадцать восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых ВНКСФ-28, Новосибирск, Российская Федерация.

Vancouver

Богословцева АЛ. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления. 2024. Аннотация от Двадцать восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых ВНКСФ-28, Новосибирск, Российская Федерация.

Author

Богословцева, Алена Леонидовна. / Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления. Аннотация от Двадцать восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых ВНКСФ-28, Новосибирск, Российская Федерация.1 стр.

BibTeX

@conference{4e98bb8857384cf99be1fea74903236d,
title = "Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна}",
year = "2024",
language = "русский",
pages = "249",
note = "Двадцать восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых ВНКСФ-28 : Сборник тезисов докладов. В 1 т. Издательство: Ассоциация студентов-физиков и молодых учёных России. 2024. Новосибирск. 355 с. Т.1. С. 325-326. ISBN: 978-5-93667-204-0. , ВНКСФ-28 ; Conference date: 01-04-2024 Through 06-04-2024",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

N1 - Conference code: 28

PY - 2024

Y1 - 2024

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=68016592

M3 - тезисы

SP - 249

T2 - Двадцать восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых ВНКСФ-28

Y2 - 1 April 2024 through 6 April 2024

ER -

ID: 61324582