Standard

Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Гейдт, Павел Викторович et al.

2021. 31 Abstract from 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

Harvard

Николаев, ИВ, Коробейщиков, НГ, Гейдт, ПВ & Струнин, ВИ 2021, 'Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si', 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation, 25.05.2021 - 27.05.2021 pp. 31. https://doi.org/10.31453/kdu.ru.91304.0147

APA

Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В., & Струнин, В. И. (2021). Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. 31. Abstract from 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation. https://doi.org/10.31453/kdu.ru.91304.0147

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ, Гейдт ПВ, Струнин ВИ. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. 2021. Abstract from 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation. doi: 10.31453/kdu.ru.91304.0147

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Гейдт, Павел Викторович et al. / Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. Abstract from 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Russian Federation.1 p.

BibTeX

@conference{1b0c82d40785403ca6630b4f5f5a9f46,
title = "Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Гейдт, {Павел Викторович} and Струнин, {Владимир Иванович}",
note = "Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Гейдт П.В., Струнин В.И. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si // Тезисы докладов 50-й Международной Тулиновской конференции {"}Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами{"}, Москва, 25–27 мая 2021. - С. 31.; 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, ФВЗЧК-2021 ; Conference date: 25-05-2021 Through 27-05-2021",
year = "2021",
month = may,
day = "25",
doi = "10.31453/kdu.ru.91304.0147",
language = "русский",
pages = "31",
url = "http://tulinov.sinp.msu.ru/",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Струнин, Владимир Иванович

N1 - Conference code: 50

PY - 2021/5/25

Y1 - 2021/5/25

U2 - 10.31453/kdu.ru.91304.0147

DO - 10.31453/kdu.ru.91304.0147

M3 - тезисы

SP - 31

T2 - 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

Y2 - 25 May 2021 through 27 May 2021

ER -

ID: 34045464